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CMP过滤
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CMP过滤

CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光—是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。抛光机、抛光浆料和抛光垫是CMP工艺的3大关键要素,其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。其工艺过程中抛光浆料颗粒控制在0.5μm以内,恒水公司提供的系列过滤器及折叠滤芯可提供您有效的过滤解决方案。
主要特点
    非对称膜、高纳污量
    高通量、高泡点、高除菌
    高亲水性、易于水润湿测试
    绝对孔径确保有效过滤
    每支滤芯通过完整性检测
    广泛的化学相容性
应用领域: CMP工艺
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产品描述
材料结构 操作条件 绝对过滤精度(um)
滤材: 进口非对称聚醚砜膜
内芯: 聚丙烯
外罩: 聚丙烯
端盖: 聚丙烯
垫片/O型圈: 硅橡胶、三元乙丙、氟橡胶、包四氟
密封技术: 热熔焊接
工作温度:≤80℃
可耐最大压差:4 bar (21℃)/2.4bar (80℃)
灭菌方法:121℃/30min蒸汽灭菌

0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20

有效过滤面积

≥0.65 m2/10〞

生物安全性 滤芯尺寸 完整性测试
内毒素:≤0.25EU/ml
溶出物:≤30mg/10〞
外径: 68mm
长度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞
起泡点测试(纯水)
0.10um≥4.0bar
0.22um≥3.4bar
0.45um≥2.3bar
应用领域

电子行业:超纯水制备终端过滤、半导体湿设备终端过滤、水性油墨终端过滤、电子试剂终端过滤。
制药行业:注射用水、大输液(LVP)、小针剂(SVP)、冻干粉针、生物制品、眼药水、抗生素等除菌过滤。
食品行业:纯生啤酒、葡萄酒、纯水、矿泉水等除菌过滤。