欢迎光临恒水过滤器材有限公司官方网站!
电话: 0571-87022016

微电子

CMP工艺介绍及用滤芯
CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光—是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。抛光机、抛光浆料和抛光垫是CMP工艺的3大关键要素,其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。其工艺过程中抛光浆料颗粒控制在0.5μm以内,恒水公司提供的系列过滤器及折叠滤芯可提供您有效的过滤解决方案。
相关产品
  • 囊式滤芯
    囊式滤芯,称为一体式过滤器(capsule filter). 恒水Ecs系列囊式过滤器适用于生物制品生产过程中缓冲液、培养基、HP调节剂过滤。其配有除菌级亲水聚醚砜 (PES) ...
  • CMP过滤
    CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光—是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后...
  • 微电子半导体过滤
    恒水公司提供的PTFE膜具有较强的疏水性,可以应用于很多领域,尤其是微电子和半导体行业。随着微电子半导体过滤、全氟过滤、强腐蚀性化学品和气体过滤环境越来越恶劣精度越来越高,耐高温耐...
  • 滤芯流量
    折叠滤芯的流量跟很多因素有关 1、滤芯的长度,折叠滤芯的长度有2.5-40英寸,还有非标规格,常规10寸的PP折叠滤芯过滤面积大概为0.65平方,在纯水中过滤的流量大概为0.25...
  • PP滤芯
    PP滤芯通常用作液体的预过热、澄清过滤及终端过滤。是以超细聚丙烯纤维膜为过滤介质,低压差,高通量,良好的过滤精度,较低的经济费用,全聚丙烯结构,端盖、壳体及中心杆均采用聚丙烯材质;...
  • 微孔滤芯
    微孔滤芯材质有聚丙烯(PP)、聚醚砜(PES)、聚四氟乙烯(PTFE)、尼龙膜(N66)、聚偏氟乙烯膜(PVDF)等;以复合型折叠式微孔膜作为过滤的介质,通过膜表面的微孔筛选,达到...
  • 研磨抛光液过滤
    研磨抛光液可分为研磨液和抛光液。一般研磨液用于粗磨,抛光液用于精密磨削。半导体行业CMP工艺对抛光液杂质要求苛刻,抛光液所含的化学颗粒是非常细的,达到纳米粒径,研磨液多为微米粒径。...